半导体行业专用仪器

• 科研级磁控溅射设备—MS-700
• 科研级磁控溅射设备—MS-400
• 科研级磁控溅射设备—MS-300
• 桌面式磁控溅射设备—MS-200
• 脉冲激光沉积设备—PLD-400
• 电子束蒸发设备—E-Beam-UHV
• 电子束蒸发设备—E-Beam-HV
• 分子束外延设备—MBE-400
• 量产级多功能薄膜沉积设备
• 生产型磁控溅射设备—MSI-100-HV
• 生产型磁控溅射设备—MSI-100-UHV
• 量产型磁控溅射设备—MSI-200

真空输送设备

• 超高真空管道传输设备
• 晶圆真空传输平台—VTM
• 两个镀膜系统直接互联设备
• 圆形互联设备（外置机械臂、内置机械臂）

仪器专用配件

• 蒸发源
• 倾斜式高温样品台
• 观察窗挡板

真空炉

• 真空退火炉—VF-200