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真空退火炉—VF-200
报价：面议
| 品牌： | 致真精密 |
| 产地： | 安徽 |
| 关注度： | 479 |
| 型号： | 真空退火炉—VF-200 |
核心参数
非金属电热元件：其他
金属电热元件：其他
烧结气氛：氧气
温控精度：RT-1200℃，精度±1℃
产品介绍
真空退火炉是改善薄膜质量的有效手段，在特殊气体氛围下加热还可以改善薄膜的组分。VF-200是致真设备公司推出的一款标准型退火炉，可与公司其他工艺腔体互联实现薄膜的原位退火，也可以单独使用。还可以选配磁铁模块实现对磁性薄膜的诱导，系统搭配控制软件，运行稳定可靠!
性能参数
晶圆尺寸 | 1inch-8inch |
极限真空 | 5×10-8mbar |
温控 | RT-1200℃，精度±1℃ |
加热方式 | SIC辐射加热 |
气体氛围 | 可在O2等环境下加热 |
互联 | 可与工艺腔体互联实现自动传输 |
真空系统 | 机械泵+分子泵 |
可选 | 磁铁模块、进样室、气氛退火等 |
问商家
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- 真空退火炉—VF-200多少钱一台？
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合肥致真精密设备有限公司为您提供致真精密真空退火炉—VF-200，真空退火炉—VF-200产地为安徽，属于真空炉，除了真空退火炉—VF-200的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供晶圆真空传输平台—VTM、蒸发源、科研级磁控溅射设备—MS-700。
工商信息
企业名称
合肥致真精密设备有限公司
企业类型
信用代码
91340100MA8LHUWE33
法人代表
注册地址
成立日期
注册资本
有效期限
经营范围
