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真空退火炉—VF-200
报价:面议
品牌: 致真精密
产地: 安徽
关注度: 521
型号: 真空退火炉—VF-200
核心参数

非金属电热元件:其他

金属电热元件:其他

烧结气氛:氧气

温控精度:RT-1200℃,精度±1℃

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产品介绍

真空退火炉是改善薄膜质量的有效手段,在特殊气体氛围下加热还可以改善薄膜的组分。VF-200是致真设备公司推出的一款标准型退火炉,可与公司其他工艺腔体互联实现薄膜的原位退火,也可以单独使用。还可以选配磁铁模块实现对磁性薄膜的诱导,系统搭配控制软件,运行稳定可靠!

性能参数

晶圆尺寸

1inch-8inch

极限真空

5×10-8mbar

温控

RT-1200℃,精度±1℃

加热方式

SIC辐射加热

气体氛围

可在O2等环境下加热

互联

可与工艺腔体互联实现自动传输

真空系统

机械泵+分子泵

可选

磁铁模块、进样室、气氛退火等


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合肥致真精密设备有限公司为您提供致真精密真空退火炉—VF-200,真空退火炉—VF-200产地为安徽,属于真空炉,除了真空退火炉—VF-200的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供晶圆真空传输平台—VTM、蒸发源、超高真空管道传输设备。
工商信息
企业名称

合肥致真精密设备有限公司

企业类型

信用代码

91340100MA8LHUWE33

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注册资本

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