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量产级多功能薄膜沉积设备
报价：面议
| 品牌： | 致真精密 |
| 产地： | 安徽 |
| 关注度： | 270 |
| 型号： | 量产级多功能薄膜沉积设备 |
产品介绍
该设备基于晶圆真空传输平台VTM，可以灵活配备传输腔室和工艺腔室，工艺腔室可选配电子束蒸发腔室、分子束外延腔室、溅射腔室、热蒸发腔室和预清洗腔室等。可实现多种材料的精确沉积。
性能参数
| 晶圆尺寸 | 8~12吋 |
| 极限真空 | 优于5×10-9mbar（工艺室PM） 优于5×10-7mbar（传输室TM） 优于5×10-6mbar（进样室Load lock） |
| 工艺室 | 可选配电子束蒸发腔室、分子束外延腔室、热蒸发腔室、预清洗室、溅射室、退火室、低温室、蒸发室、氧化室等 |
| 传输室 | 可选四边形、六边形或八边形腔室，可实现多个传输室互联，配置双臂或单臂机械臂，配置校准和测量装置 |
| 进样室 | 8或12吋晶圆，可选EFEM等前端模块 |
| 详细配置可咨询业务 |
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合肥致真精密设备有限公司为您提供致真精密量产级多功能薄膜沉积设备，量产级多功能薄膜沉积设备产地为安徽，属于半导体行业专用仪器，除了量产级多功能薄膜沉积设备的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供蒸发源、科研级磁控溅射设备—MS-700、观察窗挡板。
工商信息
企业名称
合肥致真精密设备有限公司
企业类型
信用代码
91340100MA8LHUWE33
法人代表
注册地址
成立日期
注册资本
有效期限
经营范围
