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晶圆真空传输平台—VTM
报价：面议
| 品牌： | 致真精密 |
| 产地： | 安徽 |
| 关注度： | 527 |
| 型号： | 晶圆真空传输平台—VTM |
核心参数
工作原理：其他
产品介绍
晶圆真空传输平台采用四边形、六边形或八边形设计，可以实现多个工艺室的互联，系统可选配机械臂和校准装置，可实现8或12吋晶圆的自动传输。系统搭配控制软件可实现安全可靠的控制。
性能参数
晶圆尺寸 | 8或12吋 |
| 极限真空 | 优于5×10-7mbar |
| 前端模块 | 可选EFEM等 |
| 对接口 | 四个，六个，八个（可实现多套互联） |
| 机械臂 | 可选单臂和双臂，定位精度±0.1mm |
| 校准装置 | 对准器，校准传感器 |
| 真空系统 | 机械泵+分子泵，可选离子泵等 |
| 控制系统 | PC+PLC 安全互锁，碰撞保护,真空互锁等 |
| 标准 | SEMI |
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合肥致真精密设备有限公司为您提供致真精密晶圆真空传输平台—VTM，晶圆真空传输平台—VTM产地为安徽，属于真空输送设备，除了晶圆真空传输平台—VTM的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供蒸发源、科研级磁控溅射设备—MS-700、超高真空管道传输设备。
工商信息
企业名称
合肥致真精密设备有限公司
企业类型
信用代码
91340100MA8LHUWE33
法人代表
注册地址
成立日期
注册资本
有效期限
经营范围
