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晶圆真空传输平台—VTM
报价:面议
品牌: 致真精密
产地: 安徽
关注度: 716
型号: 晶圆真空传输平台—VTM
核心参数

工作原理:其他

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产品介绍

晶圆真空传输平台采用四边形、六边形或八边形设计,可以实现多个工艺室的互联,系统可选配机械臂和校准装置,可实现8或12吋晶圆的自动传输。系统搭配控制软件可实现安全可靠的控制。

性能参数

晶圆尺寸

8或12吋
极限真空优于5×10-7mbar
前端模块可选EFEM等
对接口四个,六个,八个(可实现多套互联)
机械臂可选单臂和双臂,定位精度±0.1mm
校准装置对准器,校准传感器
真空系统机械泵+分子泵,可选离子泵等
控制系统PC+PLC
安全互锁,碰撞保护,真空互锁等
标准SEMI


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合肥致真精密设备有限公司为您提供致真精密晶圆真空传输平台—VTM,晶圆真空传输平台—VTM产地为安徽,属于真空输送设备,除了晶圆真空传输平台—VTM的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供蒸发源、超高真空管道传输设备、观察窗挡板。
工商信息
企业名称

合肥致真精密设备有限公司

企业类型

信用代码

91340100MA8LHUWE33

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