合肥致真精密设备有限公司
  • 致真精密
    参考报价:电议
    型号:桌面式磁控溅射设备—MS-200
    产地:安徽
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  • 详细介绍:


      MS-200磁控溅射设备是一款小型台面式溅射系统,具有高真空、单原子层沉积精度的特点,可以灵活选择阴极向上或向下溅射。设备标配1个2英寸超高真空阴极。满足简单的材料研究需求。

    晶圆尺寸

    4inch向下兼容

    镀膜均匀性

    优于±2%

    极限真空

    1×10-8mbar

    温控

    RT-800℃

    阴极数量

    3个2inch靶头共焦溅射