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科研级磁控溅射设备—MS-400
报价:面议
品牌: 致真精密
产地: 安徽
关注度: 400
型号: 科研级磁控溅射设备—MS-400
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产品介绍

MS-400磁控溅射设备是一款多功能多靶磁控溅射系统,具有超高真空,单原子层沉积精度,设备维护简单的特点。MS-400系统标配6个2inch共焦超高真空阴极,满足实验室或企业实验室中工艺研究的需求,维护简单,运行稳定。

性能参数

晶圆尺寸

4inch向下兼容

镀膜均匀性

优于±2%

极限真空

优于1×10-9mbar(金属密封)

优于1×10-8mbar(胶圈密封)

温控

RT-800℃,可选**1200℃

阴极数量

6~7个2inch,共焦溅射

客户案例1

通过本MS-400科研级磁控溅射,制备了具有强PMA的Mo基结构的单自由层和双自由层MTJ磁隧道结薄膜。


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合肥致真精密设备有限公司为您提供致真精密科研级磁控溅射设备—MS-400,科研级磁控溅射设备—MS-400产地为安徽,属于半导体行业专用仪器,除了科研级磁控溅射设备—MS-400的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供晶圆真空传输平台—VTM、蒸发源、科研级磁控溅射设备—MS-700。
工商信息
企业名称

合肥致真精密设备有限公司

企业类型

信用代码

91340100MA8LHUWE33

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