1 年

高级会员

已认证

科研级磁控溅射设备—MS-400
报价:面议
品牌: 致真精密
产地: 安徽
关注度: 432
型号: 科研级磁控溅射设备—MS-400
展位推荐
更多  
产品介绍

MS-400磁控溅射设备是一款多功能多靶磁控溅射系统,具有超高真空,单原子层沉积精度,设备维护简单的特点。MS-400系统标配6个2inch共焦超高真空阴极,满足实验室或企业实验室中工艺研究的需求,维护简单,运行稳定。

性能参数

晶圆尺寸

4inch向下兼容

镀膜均匀性

优于±2%

极限真空

优于1×10-9mbar(金属密封)

优于1×10-8mbar(胶圈密封)

温控

RT-800℃,可选**1200℃

阴极数量

6~7个2inch,共焦溅射

客户案例1

通过本MS-400科研级磁控溅射,制备了具有强PMA的Mo基结构的单自由层和双自由层MTJ磁隧道结薄膜。


问商家
相关产品
更多  
量产型磁控溅射设备—MSI-200

型号: 量产型磁控溅射设备—MSI-200

面议
生产型磁控溅射设备—MSI-100-UHV

型号: 生产型磁控溅射设备—MSI-100-UHV

面议
生产型磁控溅射设备—MSI-100-HV

型号: 生产型磁控溅射设备—MSI-100-HV

面议
量产级多功能薄膜沉积设备

型号: 量产级多功能薄膜沉积设备

面议
推荐产品 供应产品
合肥致真精密设备有限公司为您提供致真精密科研级磁控溅射设备—MS-400,科研级磁控溅射设备—MS-400产地为安徽,属于半导体行业专用仪器,除了科研级磁控溅射设备—MS-400的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供晶圆真空传输平台—VTM、蒸发源、超高真空管道传输设备。
工商信息
企业名称

合肥致真精密设备有限公司

企业类型

信用代码

91340100MA8LHUWE33

法人代表

注册地址

成立日期

注册资本

有效期限

经营范围

分类

留言咨询

留言类型

需求简述

联系信息

联系人

单位名称

电子邮箱

手机号

图形验证码

点击提交代表您同意《用户服务协议》《隐私协议》