MSI-100-HV生产型磁控溅射设备是针对企业和高校实验室以及小试线研发的高性能、低成本和高效率的磁控溅射装备。它采用简单可靠的模块化设计，包括进样室和溅射室，可满足8inch晶圆上纳米级材料的生产制备需求，具有稳定、可靠、成本低的特点。