1 年
高级会员
已认证
科研级磁控溅射设备—MS-700
报价：面议
| 品牌： | 致真精密 |
| 产地： | 安徽 |
| 关注度： | 311 |
| 型号： | 科研级磁控溅射设备—MS-700 |
展位推荐
更多 
产品介绍
MS-700磁控溅射设备是一款具有多功能、多阴极的磁控溅射系统，具有超高真空，单原子层沉积精度的特点。可根据需求配置4inch以下的圆形阴极，可选择垂直溅射、自动传输、反应溅射、膜厚测量等配置。适用于研发和生产需要多靶溅射的中高精度的工艺需求。
性能参数
晶圆尺寸 | 4inch-6inch |
镀膜均匀性 | 优于±2% |
极限真空 | 优于5×10-10mbar（金属密封） 优于5×10-9mbar（胶圈密封） |
温控 | RT-800℃，可选**1200℃ |
阴极数量 | 12个2inch 或 6个4inch，共焦溅射 |
电源 | DC、RF、DC Pulse |
沉积精度 | 0.1nm |
占地面积 | 4m L*3m W*2.5m H |
可选 | 低温泵、垂直溅射、自动传输、反应溅射、膜厚仪、RGA、工艺菜单等 |
问商家
- 科研级磁控溅射设备—MS-700的工作原理介绍？
- 科研级磁控溅射设备—MS-700的使用方法？
- 科研级磁控溅射设备—MS-700多少钱一台？
- 科研级磁控溅射设备—MS-700使用的注意事项
- 科研级磁控溅射设备—MS-700的说明书有吗？
- 科研级磁控溅射设备—MS-700的操作规程有吗？
- 科研级磁控溅射设备—MS-700的报价含票含运费吗？
- 科研级磁控溅射设备—MS-700有现货吗？
- 科研级磁控溅射设备—MS-700包安装吗？
推荐产品
供应产品
合肥致真精密设备有限公司为您提供致真精密科研级磁控溅射设备—MS-700，科研级磁控溅射设备—MS-700产地为安徽，属于半导体行业专用仪器，除了科研级磁控溅射设备—MS-700的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供蒸发源、观察窗挡板、晶圆真空传输平台—VTM。
工商信息
企业名称
合肥致真精密设备有限公司
企业类型
信用代码
91340100MA8LHUWE33
法人代表
注册地址
成立日期
注册资本
有效期限
经营范围
