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电子束蒸发设备—E-Beam-UHV
报价：面议
| 品牌： | 致真精密 |
| 产地： | 安徽 |
| 关注度： | 355 |
| 型号： | 电子束蒸发设备—E-Beam-UHV |
产品介绍
电子束蒸发设备可以在高真空和超高真空环境下实现精确的多层薄膜制备。线性电子束枪可以实现多种材料的蒸发。设备可选配考夫曼离子源实现晶圆的预清洗，可用于超导量子等领域，适用于高校及企业研发和小规模生产场合。
性能参数
| 晶圆尺寸 | 4inch~8inch |
| 极限真空 | 优于1×10-9mbar |
| 温控 | RT-800℃ |
| 电子束枪 | 超高真空线性运动电子束枪，可选配坩埚数量和容量（标配，10KW，6×15cc） |
| 晶圆清洗 | 可选配考夫曼离子源实现晶圆清洗 |
| 清洗均匀性 | 例：4inch晶圆优于±3% |
| 控制系统 | PC+PLC，全自动操作与安全互锁 |
| 样品台 | 180度倾斜，360度旋转，可选升降与偏压 |
| 膜厚测量 | 膜厚仪，可伸缩 |
| 占地面积 | 3m L*2m W*2m H |
| 可选 | 低温泵、自动传输、工艺菜单等 |
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合肥致真精密设备有限公司为您提供致真精密电子束蒸发设备—E-Beam-UHV，电子束蒸发设备—E-Beam-UHV产地为安徽，属于半导体行业专用仪器，除了电子束蒸发设备—E-Beam-UHV的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供晶圆真空传输平台—VTM、蒸发源、科研级磁控溅射设备—MS-700。
工商信息
企业名称
合肥致真精密设备有限公司
企业类型
信用代码
91340100MA8LHUWE33
法人代表
注册地址
成立日期
注册资本
有效期限
经营范围
