中微具有自主知识产权的PRISMO UniMax® MOCVD设备可配置多达4个反应腔,可同时加工108片4英寸或40片6英寸高性能氮化镓基蓝绿光Mini LED外延晶片，通过石墨盘的调整，可扩展至同时加工164片4英寸或72片6英寸外延晶片，其工艺能力还可延展到生长8英寸外延晶片。每个反应腔都可以独立控制，这一创新设计具备优异的生产灵活性。中微PRISMO UniMax® MOCVD设备配置了新颖的局部温度补偿加热系统，专为高性能Mini LED量产而设计，具备优异的产出波长均匀性及产出稳定性。此外，PRISMO UniMax® MOCVD设备配置了785mm大直径石墨托盘，极大地提高了设备产能，并有效地降低了Mini LED外延片的生产成本。