中微具有自主知识产权的MOCVD设备PRISMO A7®可配置多达4个反应腔，可以同时加工136片4英寸晶片或56片6英寸晶片，工艺能力还能延展到生长8英寸外延晶片。每个反应腔都可以独立控制，这一设计可以实现优异的生产灵活性。