PRISMO D-BLUE®MOCVD设备
报价:面议
品牌: 中微公司
产地: 上海
关注度: 47
型号: PRISMO D-BLUE®MOCVD设备
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产品介绍

中微具有自主知识产权的MOCVD设备可配置多达4个反应腔,可以同时加工232片2英寸晶片或56片4英寸晶片,工艺能力还能延展到生长6英寸和8英寸外延晶片。每个反应腔都可以独立控制,这一设计可以实现优异的生产灵活性。PRISMO D-BLUE®是首台被主流LED生产线采用并进行大批量LED和功率器件外延片生产的国产MOCVD设备。

PRISMO D-BLUE®

首台被主流LED生产线采用并进行大批量LED外延片生产的国产MOCVD设备

产品特点

可独立控制的反应腔运行模式

自主的实时监控系统

精准的参数控制

全自动化处理

符合半导体标准的软件控制系统

竞争优势

优异的工艺重复性,简化工艺调整需求,提高产品良率

19英寸大尺寸托盘极大地提高了设备单位产能,降低了生产成本

集成顶盖升降机构,简化设备维护,提高设备利用率

符合SEMI S2安全标准,提升设备的安全性能


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中微半导体设备(上海)股份有限公司为您提供中微公司PRISMO D-BLUE®MOCVD设备,PRISMO D-BLUE®MOCVD设备产地为上海,属于半导体行业专用仪器,除了PRISMO D-BLUE®MOCVD设备的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供Primo TSV® 高性能、高产能的深硅刻蚀设备、Primo nanova®12英寸刻蚀设备、Primo D-RIE刻蚀设备。
工商信息
企业名称

中微半导体设备(上海)股份有限公司

企业类型

信用代码

913101157626272806

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