型号： NV-75型分子束外延系统

型号： NV-150型MBE系统

型号： 激光封焊机

型号： 磁控溅射沉积设备

型号： 卧式LPCVD

型号： RSP-6000 平板式PVD

型号： M82300-3/UM型PECVD镀膜设备

型号： M82200-10UM型PECVD 镀膜设备