设备主要用于高效晶硅体太阳能电池制造工艺中HJT电池片正面和背面IOT薄膜的沉积。

• 膜块化设计，便于安装以及产能升级;

  满足不同温度沉积ITO薄膜，工艺扩展性强;强控旋转阴极靶快速镀膜技术，靶材利用率高;

  分区加热和控温，具有出色的控温系统和控温性能。