生长室

· 极限真空5E-11Torr

· 6英寸或3×3英寸衬底

· 12个源炉口

· 可选E-gun系统

· 衬底**加热至1000°C

· 多种束源炉挡板可选

缓冲室

·极限真空SE-10Torr

·可选集成式高温除气台

·可选独立预处理室

·易于扩展、多腔互联

·线性手动／自动传输

进样室

· 快开门设计

· 可装载7片晶圆

· 红外灯管加热

· 晶圆升降电动控制