卧式LPCVD
报价:面议
品牌: 电子科技
产地: 湖南
关注度: 22
型号: 卧式LPCVD
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产品介绍

应用于宽禁带半导体器件、电力电子器件、光电子等行业氮化硅、多晶硅或氧化硅薄膜的制备;适用工艺有LPCVD。

  • 温度控制采用串级控制方式,对基片实际温度进行实时智能控制;

    装载采用SiC悬臂桨,避免了与工艺管摩擦产生粉尘。


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中国电子科技集团公司第四十八研究所为您提供电子科技卧式LPCVD,卧式LPCVD产地为湖南,属于半导体行业专用仪器,除了卧式LPCVD的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供合金薄膜敏感芯片、宽温区硅压敏芯体、M5111-8WKUM型高温负压氧化炉设备。
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中国电子科技集团公司第四十八研究所

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信用代码

81430000740639352P

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