立式炉
报价:面议
品牌: 电子科技
产地: 湖南
关注度: 21
型号: 立式炉
核心参数

温控精度:≤±1℃

最高温度:1100℃

非金属电热元件:其他

金属电热元件:其他

烧结气氛:其他

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产品介绍
  • 序号

    指标名称

    主要技术指标

    1

    晶圆尺寸

    8英寸

    2

    **温度

    1100℃(石英)

      1250℃(碳化硅)

    3

    控温精度

    ≤±0.5

    4

    温度均匀性

    ≤±1

    5

    升温速率

    0-10/min

    6

    **装载量

    170

    7

    有效工作区域

    Φ230mm×780mm

    8

    温区数量

    5

    9

    气路数量

    4

    10

    片内均匀性(WIW

    2%

    11

    片间均匀性(WTW

    2%

    12

    批间均匀性(RTR

    2%

    13

    新增颗粒

    50(≥0.16μm

    30(≥0.2μm

    14

    金属污染

    <5E10 atms/cm2



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工商信息
企业名称

中国电子科技集团公司第四十八研究所

企业类型

信用代码

81430000740639352P

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成立日期

注册资本

有效期限

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