型号： 量产级多功能薄膜沉积设备

型号： 分子束外延设备—MBE-400

型号： 电子束蒸发设备—E-Beam-HV

型号： 电子束蒸发设备—E-Beam-UHV

型号： 脉冲激光沉积设备—PLD-400

型号： 真空退火炉—VF-200

型号： 桌面式磁控溅射设备—MS-200

型号： 科研级磁控溅射设备—MS-300

型号： 科研级磁控溅射设备—MS-400

型号： 科研级磁控溅射设备—MS-700