型号： 观察窗挡板

型号： 倾斜式高温样品台

型号： 蒸发源

型号： 圆形互联设备（外置机械臂、内置机械臂）

型号： 两个镀膜系统直接互联设备

型号： 超高真空管道传输设备

型号： 晶圆真空传输平台—VTM

型号： 量产型磁控溅射设备—MSI-200

型号： 生产型磁控溅射设备—MSI-100-UHV

型号： 生产型磁控溅射设备—MSI-100-HV