管式炉

• 6英寸半导体级单晶炉
• 8英寸半导体级单晶炉
• 12英寸半导体级单晶炉
• 硅部件级单晶炉

真空炉

• 碳化硅原料合成炉(100~150kg,电阻式)
• 6 ~ 8英寸LPE碳化硅长晶炉 (感应式/电阻式）
• 6 ~ 8英寸PVT碳化硅长晶炉 （感应式）
• 化合物退火炉

切割机

• 碳化硅多线切片机

磨抛机

• 双面研磨/抛光机

恒温/加热/干燥设备

• 贯穿式烘干机