上海汉虹精密机械有限公司
  • 上海汉虹
    参考报价:电议
    型号:6英寸半导体级单晶炉
    产地:上海
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  • 详细介绍:


    6英寸半导体级单晶炉

    拉晶过程全程自动化

    在惰性气体环境中,用石墨加热器将硅材料熔化,

    用直拉法生长无位错单晶的设备。

    性能优势

    设备主体结构优化,提高了整机稳定性。

    具有拉制12英寸COP FREE半导体单晶硅棒的功能。

    采用新型隔离阀。

    液面高度监控系统。

    高精度传动机构。

    双层水冷套、可升降双层水冷屏。