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6 ~ 8英寸LPE碳化硅长晶炉 (感应式/电阻式)
报价:面议
品牌:
产地: 上海
关注度: 101
型号: LPE碳化硅长晶炉
核心参数

非金属电热元件:其他

金属电热元件:其他

烧结气氛:真空

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产品介绍

采用感应/电阻式加热方式,在不锈钢腔体内以液相法生长SiC晶体,并可兼容物理气相法(PVT)。

可提供半定制化服务


6 ~ 8英寸 碳化硅长晶炉 (感应式/电阻式) 

晶体尺寸 6 ~ 8英寸 

工艺 LPE 

加热方式 感应式/电阻式 

基本参数 主机尺寸 W1450 x D1450 x H3900mm 

整机重量 约2.2T 

支持系统 电     源 容    量 50kVA(感应式)/ 280kVA(电阻式) 

电    压 380VAC±10% ,  3P,  50/60Hz 

冷 却 水 压    力 0.3 ~ 0.5MPa 

流    量 >200L/min 

工艺气体 压    力 >0.2MPa 

压缩空气 压    力 0.5~1.0MPa 


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工商信息
企业名称

上海汉虹精密机械有限公司

企业类型

信用代码

91310000772117540K

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