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化合物退火炉
报价:面议
品牌:
产地: 上海
关注度: 95
型号: 退火炉
核心参数

非金属电热元件:其他

金属电热元件:其他

烧结气氛:真空

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产品介绍

退火炉主要用于晶体或是晶片在真空环境中的退火工艺环节,消除晶体或晶片内部应力或缺陷,从而提高晶体或晶片加工性能和品质。

性能优势

1、腔体内部经镜面抛光,减少氧化物附着,具有高真空获得能力与长时间保压能力,可以实现自动工艺方式;

2、控温精度可达±0.5℃,实现横向和纵向的温度梯度均≤0.5℃/cm。


晶体尺寸 6 ~ 12英寸 

工艺 退火处理 

加热方式 电阻式 

基本参数 主机尺寸 根据选型对应不同尺寸 

整机重量 约2.2 ~2.7T 

支持系统 电     源 容    量 25kVA 

电    压 AC380V,  3P,  50Hz 

冷 却 水 压    力 0.35~0.5MPa 

流    量 >120L/min 

工艺气体 压    力 >0.2MPa 

压缩空气 压    力 0.5 ~ 1.0MPa 


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工商信息
企业名称

上海汉虹精密机械有限公司

企业类型

信用代码

91310000772117540K

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