型号： 溶液成长法单晶生长设备（TSSG法）

型号： 快速高温退火设备RTA RSA-06

型号： 全自动晶片减薄机SGM-9100

型号： MIST-CVD氧化物薄膜沉积设备 M150A

型号： 高还原性低温热压对准键合设备 MAFP

型号： 高还原性低温热压键合设备 FATB

型号： 碳膜溅射设备 CS-200

型号： 激活退火设备 Ailesic-2000

型号： 光阻去除设备 NA-8000

型号： 溅射设备 SME-200J