半导体行业专用仪器

• 激活退火设备 Ailesic-1500
• 溅射设备 SRH-420
• 溅射设备 SME-200J
• 光阻去除设备 NA-8000

粉体焙烧炉

• 高温氧化炉 HT-RTP-4000
• 高温退火炉 PFS-4000

其他

• 碳膜去除设备 NE-550EX
• C2W低温热压键合设备 SAFP

切割机

• 桌上型精密切割机MPC-200e

磨抛机

• 中型高速研磨设备 STC-610

比表面积测定仪

• 飞行时间二次离子质谱仪 TOF-SIMS

定制加工件

• 氧化镓单晶外延片

X射线仪器

• 多功能扫描X射线光电子能谱仪 XPS

恒温/加热/干燥设备

• 蒸发设备 Ei-5