 万德思诺 |
参考报价：电议 型号：碳膜溅射设备 CS-200
产地：天津 在线咨询
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产品图片：
产品型号：
CS-200
产品介绍：
Dense carbon film for high temp. anneal
Max. Substrate φ200㎜（Transfer tray available）
产品特点：
1. Key point for carbon process
- Front(Ion Implantation) and Back(Annealing) processes are well known.
2. Good process experience for CC deposition
- AIST and SIC production company uses ULVAC system.
3. Optional items
- High temp stage, RF stage bias, 3MFC line, DRP, etc.
