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产品型号:

RSA-06

产品介绍：

1. Ceramic， Metal Free的热场设计

2. 可以实现± 10℃以下（1500℃） 的面内温度分布。

3. 急加热急冷却的设计， 即使单片对应整体速度也很快

4. 反应炉和冷却室是分开存在， 加热部可以保持均一高温。 （**申请）

5. 加热部一直是高温保持，综合运转成本会降低

6. 本装置为高真空对应（可以使用干泵+涡轮分子泵）

7. **可以对应2000℃。

8. 我们将通过充分利用仿真软件来建议**的热场

基本规格（SPEC）