真空炉

• 高温退火炉
• 水平真空气氛炉
• 垂直真空气氛炉
• 水平多室真空气氛炉
• 垂直双室真空气氛炉
• 水平管式真空炉

箱式炉

• 垂直氧化炉—8寸
• 水平氧化扩散炉
• 高温氧化炉
• 科研型扩散炉

粉体焙烧炉

• 垂直氧化炉
• 水平氧化扩散炉1
• 气氛烧结炉
• 氢破炉

气体发生器/气体处理

• 氨分解废气处理
• 湿法废气处理

半导体行业专用仪器

• HVPE气相外延
• 水平LPCVD气相沉积

石墨烯

• 石墨烯LPCVD

其他

• 高压晶体生长