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垂直氧化炉
报价:面议
品牌: 华旗科技
产地: 山东
关注度: 19
型号: 垂直氧化炉
核心参数

非金属电热元件:其他

金属电热元件:其他

烧结气氛:其他

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产品介绍

产品性能:

*垂直结构,5~50片/批

*稳定优良的成膜均匀性,重复性好

*微环境低氧控制先进技术

*硅片颗粒度控制稳定,国际标准

*多工艺选择,模块化,操作便利

*全自动流程,盒对盒,AGV对接

*高集成度,符合SECSⅡ/HSMS/GEM等标准

配套工艺:

*氧化:干氧/湿氧(DCE, HCL),氮、氢退火,合金、固化,快速热退火

*多晶硅P-Si,氮化硅Si3N4,氧化硅SiO2,磷硅玻璃PSG,硼磷硅玻璃BPSG

*TEOS,LTO,HTO,SIPOS...


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青岛华旗科技有限公司为您提供华旗科技垂直氧化炉,垂直氧化炉产地为山东,属于粉体焙烧炉,除了垂直氧化炉的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供石墨烯LPCVD、高压晶体生长、HVPE气相外延。
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青岛华旗科技有限公司

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