青岛华旗科技有限公司专业的半导体工艺设备及先进材料专用设备研发、制造厂家。主要产品系列：扩散炉、氧化炉、LPCVD化学气相沉积、HVPE晶体生长、真空炉及半导体废气处理等。致力于为半导体集成电路分立器件、太阳能电池、半导体照明LED及磁性材料厂家提供先进的专用设备,工艺含盖化合物半导体晶体生长、外延、薄膜淀积(氮化硅、氧化硅、多晶硅等)、氧化扩散退火(含快速退火工艺)合金、真空烧结等工艺。我公司制造的半导体工艺设备覆盖一、二、三代半导体材料-硅、砷化镓、氮化镓等等，高性能磁性材料真空设备(钐钴、钕铁硼等)，同时承担了部分国家863项目(如半导体白光照明GaN生长的HVPE设备等)。华旗科技拥有