产品性能：

应用于半导体行业LED、多用于MOCVD、HVPE（GaN工艺）废气处理

多级喷淋，使易溶于水或与配置溶液反应生成沉积的物质，以达到有毒腐蚀气体的回收，达标气体的安全排放

处理能力，科研型：50SLM，生产型：100/400-1500SLM