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水平氧化扩散炉
报价:面议
品牌: 华旗科技
产地: 山东
关注度: 15
型号: 水平氧化扩散炉
核心参数

非金属电热元件:其他

金属电热元件:其他

烧结气氛:氧气

额定温度:200~1300℃/1350℃

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产品介绍

产品性能:

4~8寸晶圆工艺,每台1~4/5管

恒温区:800/1000/1250mm

温度:200~1300℃/1350℃

全自动机械手装卸,悬臂/软着陆

晶圆自动倒片,完整的工厂MES系统对接,符合SECSⅡ/HSMS/GEM等标准

配套工艺:

扩散:气态/液态/固态源磷硼扩散

氧化:干氧/湿氧(DCE, HCL)

氮、氢退火,烧结、合金等


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青岛华旗科技有限公司为您提供华旗科技水平氧化扩散炉,水平氧化扩散炉产地为山东,属于箱式炉,除了水平氧化扩散炉的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供石墨烯LPCVD、高压晶体生长、HVPE气相外延。
工商信息
企业名称

青岛华旗科技有限公司

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