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垂直氧化炉—8寸
报价：面议
| 品牌： | 华旗科技 |
| 产地： | 山东 |
| 关注度： | 19 |
| 型号： | 垂直氧化炉—8寸 |
核心参数
非金属电热元件：其他
金属电热元件：其他
烧结气氛：氧气
产品介绍
垂直氧化系统用于IC集成电路、MEMS、电力电子器件、光电子器件等领域，6"、8"晶圆的氧化、合金、退火等工艺。
产品性能：
*垂直结构，高效产能，150片/批
*稳定优良的成膜均匀性，重复性好
*微环境低氧控制先进技术
*硅片颗粒度控制稳定，国际标准
*全自动流程，盒对盒，AGV对接
配套工艺：
*氧化：干氧/湿氧（DCE, HCL）
*氮、氢退火，烧结、合金，固化等
*快速热退火
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青岛华旗科技有限公司为您提供华旗科技垂直氧化炉—8寸，垂直氧化炉—8寸产地为山东，属于箱式炉，除了垂直氧化炉—8寸的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供石墨烯LPCVD、高压晶体生长、HVPE气相外延。
工商信息
企业名称
青岛华旗科技有限公司
企业类型
信用代码
法人代表
注册地址
成立日期
注册资本
有效期限
经营范围
