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双腔型高真空高速蒸镀系统
报价：面议
| 品牌： | 韫茂科技 |
| 产地： | 福建 |
| 关注度： | 1496 |
| 型号： | QBT-I |
产品介绍
QBT-I 双腔室高真空高速蒸镀系统
产品详情：
上下双腔,集表面处理与蒸发镀膜为一体,高效可靠的Indium蒸镀助手。
技术参数
| QBT-I 技术参数 Technical Specifications (Indium Bump等制备) | |
| 高真空腔体 HV Chamber | 2个HV腔室，Loadlock离子束刻蚀及蒸镀，极限真空Ultimate Pressure<3E-8Torr |
| 排气速率Pumping Spead | 从ATM到8E-7Torr<15min (loadlock) |
| 极限蒸发速率 High Depostion Rate | 5-12nm/s (Indium), Ф100基板镀膜均一性<3%, 大容量坩埚 |
| 精准的样品冷却控制 Wafer Cooling | -10-40℃ (精度±0.1） |
| 离子束清洗 Ion Milling | 考夫曼离子源, Ф100基板刻蚀均一性<3% |
| 人机界面 HMI | 全自动化人机操作界面 |
| 安全Safety | 工业标准安全互锁Industry Safety Interlock，报警Alarm，EMO |
测试结果
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厦门韫茂科技有限公司为您提供韫茂科技双腔型高真空高速蒸镀系统，双腔型高真空高速蒸镀系统产地为福建，属于实验设备，除了双腔型高真空高速蒸镀系统的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供公斤级粉末ALD、超高真空多腔体磁控溅射系统、公斤级粉体原子层沉积镀膜系统。
工商信息
企业名称
厦门韫茂科技有限公司
企业类型
信用代码
91350200MA31JEYQ4Y
法人代表
注册地址
成立日期
注册资本
有效期限
经营范围
