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双腔室UHV磁控溅射镀膜系统
报价:面议
品牌: 韫茂科技
产地: 福建
关注度: 4087
型号: QBT-P
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韫茂科技实验设备

韫茂科技QBT-P

国产实验设备

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产品介绍

双腔室超高真空双磁控测射系统 QBT-P 


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磁控溅射技术原理

    在阴极靶的表面上方形成一个正交电磁场。当溅射产生的二次电子在阴极位降区内被加速为高能电子后,并不直接飞向阳极,而是在正交电磁场作用下作来回振荡的近似摆线的运动。高能电子不断与气体分子发生碰撞并向后者转移能量,使之电离而本身变成低能电子。这些低能电子*终沿磁力线漂移到阴极附近的辅助阳极而被吸收,避免高能电子对极板的强烈轰击,消除了二级溅射中极板被轰击加热和被电子辐照引起的损伤,体现出磁控溅射中极板“低温”的特点。由于外加磁场的存在,电子的复杂运动增加了电离率,实现了高速溅射。


磁控溅射技术特点

    成膜速率高,基片温度低,膜的粘附性好,可实现大面积镀膜


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技术参数

    

QBT-P 技术参数 Technical Specifications (超导Ta/TiN/NbN/Al/Nb等制备)
超高真空腔体 UHV Chamber2个UHV Chamber,包括Loadlock及Sputtering, 极限真空Ultimate Pressure<3E-9Torr
排气速率Pumping Spead从ATM到1E-7Torr<20min (loadlock)
基板加热 Wafer HeatingRT-900oC
离子束清洗 Ion Milling考夫曼离子源, Ion Energy 100-600eV, 100-1200eV; Ion Beam Current:20-200mA, Ф100基板刻蚀均一性<3%
磁控溅射SputteringDC or RF Power Supply, 基板与靶材距离连续可调Wafer and Target Space can Change Continoulsly
基板传输 Wafer Transfer高度可靠和可重复的基板传输能力
人机界面 HMI全自动化人机操作界面
安全Safety工业标准安全互锁Industry Safety Interlock,报警Alarm,EMO


工艺展示


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产品小贴士

双腔室UHV磁控溅射镀膜系统由北京韫茂科技有限公司提供,产地为福建,属于国产实验设备,符合多项国家和国际标准,广泛应用于电池/电源、电子/通讯、综合其他等领域,双腔室UHV磁控溅射镀膜系统凭借其创新性与实用性,在实验设备用户中获得广泛关注。

据中国粉体网显示:该产品已通过粉体网认证,在产品性能、服务能力等维度表现优异,用户平均评分达9.5(满分 10 分)。

根据韫茂科技官方产品资料显示:双腔室UHV磁控溅射镀膜系统的型号是QBT-P,品牌为韫茂科技。

在同系列产品中,您还可以选择以下型号:
产品名称 品牌 型号 产地类型 价格
超高真空多腔体磁控溅射系统 韫茂科技 QBT-MP 国产 电议
公斤级粉末ALD 韫茂科技 KG 国产 电议
桌面型原子层沉积系统 韫茂科技 MINI 国产 电议
客户服务热线:400-810-0069转1395(售前/售后支持)
官方链接:
https://m.cnpowder.com.cn/ns26435/productsdetail_183208.html
来源:北京韫茂科技有限公司
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北京韫茂科技有限公司为您提供韫茂科技双腔室UHV磁控溅射镀膜系统,双腔室UHV磁控溅射镀膜系统产地为福建,属于实验设备,除了双腔室UHV磁控溅射镀膜系统的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供公斤级粉体原子层沉积镀膜系统、超高真空多腔体磁控溅射系统、公斤级粉末ALD,韫茂科技客服电话400-810-00691395,售前、售后均可联系。
工商信息
企业名称

北京韫茂科技有限公司

企业类型

信用代码

91350200MA31JEYQ4Y

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成立日期

注册资本

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