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双倾角约瑟夫森结制备系统
报价：面议
| 品牌： | 韫茂科技 |
| 产地： | 福建 |
| 关注度： | 2021 |
| 型号： | QBT-J |
产品介绍
全自动四腔超高真空双倾角镀膜系统 QBT-J
约瑟夫森结超高压系统
技术参数
| QBT-J 技术参数 Technical Specifications (双倾角约瑟夫森结制备） | |
| 超高真空腔体 UHV Chamber | 4个UHV Chamber,包括Loadlock/Aneal, Ion Milling, Ebeam-Evaporation, Oxidation, 极限真空Ultimate Pressure<1E-9Torr |
| 基板加热 Wafer Heating | RT-900℃ |
| 离子束清洗 Ion Milling | 考夫曼离子源, Ion Energy 100-600eV, 100-1200eV, Ion Beam Current:20-200mA, Ф100基板刻蚀均一性<3% |
| 电子束蒸发 Ebeam Evaporation | UHV 5 Linear Pocket Ebeam Evaporation Source, 8KW Power Supply |
| 氧化 Oxidation | Flow and Static Mode Oxidation |
| 基板操控能力 Wafer Tilt and Rotation | 可实现180度倾斜及360度旋转，0.1度的精准控制 |
| 基板传输 Wafer Transfer | 高度可靠和可重复的基板传输能力 |
| 人机界面 HMI | 全自动化人机操作界面 |
| 安全Safety | 工业标准安全互锁Industry Safety Interlock，报警Alarm，EMO |
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厦门韫茂科技有限公司为您提供韫茂科技双倾角约瑟夫森结制备系统，双倾角约瑟夫森结制备系统产地为福建，属于实验设备，除了双倾角约瑟夫森结制备系统的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供公斤级粉末ALD、超高真空多腔体磁控溅射系统、公斤级粉体原子层沉积镀膜系统。
工商信息
企业名称
厦门韫茂科技有限公司
企业类型
信用代码
91350200MA31JEYQ4Y
法人代表
注册地址
成立日期
注册资本
有效期限
经营范围
