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双倾角约瑟夫森结制备系统
报价:面议
品牌: 韫茂科技
产地: 福建
关注度: 4180
型号: QBT-J
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韫茂科技实验设备

韫茂科技QBT-J

国产实验设备

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产品介绍

全自动四腔超高真空双倾角镀膜系统  QBT-J 

四腔体.jpg

约瑟夫森结超高压系统


   全自动四腔超高真空双倾角镀膜系统专专业制备约瑟夫森结制备,可精确生长所需的金属层和氧化绝缘层,确保高性能制备及高成品率;此镀膜仪有进样室、氩离子清洗室、电子束蒸 发室以及氧化室,共计四个高真空腔室,腔室间使用传样杆进行高真空传样,传递模组须采用抓取式设计;设备所有工艺均支持4英寸及以内的晶圆或不规则样品。设备整个工艺过程,可以完全按照用户设置的参数自动化运行,工艺流程包括并不限于:抽真空,监测气压,离子清洗,样品位置调节、传样,加热,电子束蒸发特 定厚度设置,自动调整气压等。


微信图片_20220224094931.jpg

技术参数


QBT-J 技术参数 Technical Specifications (双倾角约瑟夫森结制备)
超高真空腔体 UHV Chamber4个UHV Chamber,包括Loadlock/Aneal, Ion Milling, Ebeam-Evaporation, Oxidation, 极限真空Ultimate Pressure<1E-9Torr
基板加热 Wafer HeatingRT-900℃
离子束清洗 Ion Milling考夫曼离子源, Ion Energy 100-600eV, 100-1200eV, Ion Beam Current:20-200mA, Ф100基板刻蚀均一性<3%
电子束蒸发 Ebeam EvaporationUHV 5 Linear Pocket Ebeam Evaporation Source, 8KW Power Supply
氧化 OxidationFlow and Static Mode Oxidation
基板操控能力 Wafer Tilt and Rotation可实现180度倾斜及360度旋转,0.1度的精准控制
基板传输 Wafer Transfer高度可靠和可重复的基板传输能力
人机界面 HMI全自动化人机操作界面
安全Safety工业标准安全互锁Industry Safety Interlock,报警Alarm,EMO








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产品小贴士

双倾角约瑟夫森结制备系统由北京韫茂科技有限公司提供,产地为福建,属于国产实验设备,符合多项国家和国际标准,广泛应用于电子/通讯、综合其他等领域,双倾角约瑟夫森结制备系统凭借其创新性与实用性,在实验设备用户中获得广泛关注。

据中国粉体网显示:该产品已通过粉体网认证,在产品性能、服务能力等维度表现优异,用户平均评分达9.5(满分 10 分)。

根据韫茂科技官方产品资料显示:双倾角约瑟夫森结制备系统的型号是QBT-J,品牌为韫茂科技。

在同系列产品中,您还可以选择以下型号:
产品名称 品牌 型号 产地类型 价格
超高真空多腔体磁控溅射系统 韫茂科技 QBT-MP 国产 电议
公斤级粉末ALD 韫茂科技 KG 国产 电议
桌面型原子层沉积系统 韫茂科技 MINI 国产 电议
客户服务热线:400-810-0069转1395(售前/售后支持)
官方链接:
https://m.cnpowder.com.cn/ns26435/productsdetail_183174.html
来源:北京韫茂科技有限公司
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北京韫茂科技有限公司为您提供韫茂科技双倾角约瑟夫森结制备系统,双倾角约瑟夫森结制备系统产地为福建,属于实验设备,除了双倾角约瑟夫森结制备系统的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供公斤级粉体原子层沉积镀膜系统、超高真空多腔体磁控溅射系统、公斤级粉末ALD,韫茂科技客服电话400-810-00691395,售前、售后均可联系。
工商信息
企业名称

北京韫茂科技有限公司

企业类型

信用代码

91350200MA31JEYQ4Y

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