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双腔型超高真空蒸镀系统
报价：面议
| 品牌： | 韫茂科技 |
| 产地： | 福建 |
| 关注度： | 1827 |
| 型号： | QBT-F |
产品介绍
双腔型超高真空蒸镀系统
技术参数：
1高真空腔体：2个高真空腔体包括负荷锁及Evaporation,极限真空极限压力<2e-8 Torr
2排气速率：ATM到3E-7 Torr<20分钟(装载锁)
3基板加热：RT-600ºC
4离子束清洗：考夫曼离子源,离子能量100-600 eV， 100-1200eV; 离子束电流：:20-200mA,或100基板刻蚀
均一性<3%
5高压电源：6-10千瓦电源，1-6源口袋
6成膜均匀性：<3%（6inch Wafer）
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厦门韫茂科技有限公司为您提供韫茂科技双腔型超高真空蒸镀系统，双腔型超高真空蒸镀系统产地为福建，属于实验设备，除了双腔型超高真空蒸镀系统的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供公斤级粉末ALD、公斤级粉体原子层沉积镀膜系统、超高真空多腔体磁控溅射系统。
工商信息
企业名称
厦门韫茂科技有限公司
企业类型
信用代码
91350200MA31JEYQ4Y
法人代表
注册地址
成立日期
注册资本
有效期限
经营范围
