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双腔型超高真空蒸镀系统
报价:面议
品牌: 韫茂科技
产地: 福建
关注度: 2005
型号: QBT-F
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产品介绍

双腔型超高真空蒸镀系统

1002.png

 技术参数:

1高真空腔体:2个高真空腔体包括负荷锁及Evaporation,极限真空极限压力<2e-8 Torr

2排气速率:ATM到3E-7 Torr<20分钟(装载锁)

3基板加热:RT-600ºC

4离子束清洗:考夫曼离子源,离子能量100-600 eV, 100-1200eV; 离子束电流::20-200mA,或100基板刻蚀
均一性<3%

5高压电源:6-10千瓦电源,1-6源口袋

6成膜均匀性:<3%(6inch  Wafer)



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厦门韫茂科技有限公司为您提供韫茂科技双腔型超高真空蒸镀系统,双腔型超高真空蒸镀系统产地为福建,属于实验设备,除了双腔型超高真空蒸镀系统的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供超高真空多腔体磁控溅射系统、公斤级粉末ALD、公斤级粉体原子层沉积镀膜系统。
工商信息
企业名称

厦门韫茂科技有限公司

企业类型

信用代码

91350200MA31JEYQ4Y

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