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超高真空多腔体磁控溅射系统
报价:面议
品牌: | 韫茂科技 |
产地: | 福建 |
关注度: | 2924 |
型号: | QBT-MP |
产品介绍
超高真空多腔体磁控溅射系统
技术参数:
基板:可加热至RT-900ºC,可旋转,基板与靶材距离连续可调,晶圆和靶空间可以连续变化
极限真空:<3E-9Torr
基板传输:高度可靠和可重复的基板传输能力
问商家
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工商信息
企业名称
厦门韫茂科技有限公司
企业类型
信用代码
91350200MA31JEYQ4Y
法人代表
注册地址
成立日期
注册资本
有效期限
经营范围