设备名称：钙钛矿太阳能电池磁控溅射设备（不与手套箱连接）
设备型号：JCP700
镀膜方式：磁控溅射
真空腔室结构：立式圆腔前开门结构 侧置抽气系统
真空腔室尺寸：φ700×H550mm
基片台尺寸：220mmx220mm
膜厚不均匀性：≤±5%（210mm×210mm范围内）
基片台加热：室温～500℃
基片台水冷：10℃～30℃
溅射靶：φ6英吋靶*3支 兼容DC/MF/RF溅射
晶振膜厚监控仪：国产或进口（可选）
控制方式：PLC + 触摸屏控制
占地面积：L2100mm×W1300mm×H2100mm
总功率：≥16kW

1.国内技术**、市场占有率**，设计优化，性能稳定，使用维护成本低。

2.广泛用于钙钛矿太阳能电池及复合功能薄膜材料制备等应用。