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高真空磁控溅射镀膜设备JCP650
报价:面议
品牌: | 北京泰科诺 |
产地: | 北京 |
关注度: | 14 |
型号: | 高真空磁控溅射镀膜设备JCP650 |
产品介绍
基片台尺寸:抽屉式:150mm×120mm 可旋转、升降
膜厚不均匀性:≤ ±5.0%(120mmx120mm 范围内)
溅射靶:6英寸3只
溅射靶电源:1台RF,2台DC
控制方式:PLC/PC 控制 ( 可选 )
占地面积:L2500mmxW1600mmxH1900mm ( 不含手套箱 )
总功率:≥15kW 三相五线制
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工商信息
企业名称
北京泰科诺科技有限公司
企业类型
信用代码
法人代表
注册地址
成立日期
注册资本
有效期限
经营范围