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多功能磁控离子溅射复合镀膜机TSU650
报价:面议
品牌: 北京泰科诺
产地: 北京
关注度: 99
型号: 多功能磁控离子溅射复合镀膜机TSU650
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产品介绍

设备名称:多功能磁控离子溅射复合镀膜设备

设备型号:TSU650

真空腔室结构:立式圆柱形前开门,双层水冷,多通用法兰接口

真空腔室尺寸:Φ650mm×H650mm

工件架尺寸:Φ490mm,4-6 工位公 / 自转工件架

工件架烘烤温度:室温~ 500±5℃,可调可控(PID 控温)

工件架运动方式:公转 0-5RPM 可调

辅助离子源:偏压、线性离子源辅助(可选)

阴极:矩形磁控靶、柱状靶、平面弧源、磁过滤弧源(可选) 国产或进口靶、或电源可选

控制方式:PLC 控制 / 工控机全自动控制可选

占地面积:主机 L2800mm×W1200mm×H1950mm

总功率:≥ 60kW

选购件:基片台加热系统、循环水机、膜厚控制系统等


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北京泰科诺科技有限公司为您提供北京泰科诺多功能磁控离子溅射复合镀膜机TSU650,多功能磁控离子溅射复合镀膜机TSU650产地为北京,属于半导体行业专用仪器,除了多功能磁控离子溅射复合镀膜机TSU650的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供真空电弧炉VDK250、高真空磁控溅射镀膜设备JCP350、电阻蒸发镀膜设备。
工商信息
企业名称

北京泰科诺科技有限公司

企业类型

信用代码

9111011475217349XB

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