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热丝CVD金刚石膜沉积设备HF450
报价:面议
品牌: 北京泰科诺
产地: 北京
关注度: 15
型号: 热丝CVD金刚石膜沉积设备HF450
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产品介绍

设备名称:热丝 CVD 金刚石膜沉积设备

设备型号:HF450

真空腔室结构:立式前开门结构,后置抽气系统,双层水冷

真空腔室尺寸:Φ450mmxH500mm

真空系统:复合分子泵高真空系统

基片台尺寸:Φ100mm

衬底温度:600 ~ 1100℃

电源:专用热丝电源 400A, 恒流或恒功率模式

气路控制:4 路气体流量控制

控制方式:PLC 触摸屏控制

占地面积:主机 L1200mm×W1060mm×H1900mm

总功率:≥ 20kW


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北京泰科诺科技有限公司

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