真空腔体的核心工作原理是通过密闭空间抽除空气，形成低压真空环境，而腔体金属表面的微观特性，直接决定真空环境的稳定性。金属基材在机械加工、焊接成型后，表面会存在微观划痕、凹凸孔隙、残余应力，同时附着切削液、油污、游离铁、氧化层、焊缝杂质等污染物。

这些问题会引发两大致命缺陷：一是气体逸出，金属表层孔隙与杂质会持续释放氢气、水汽、碳化物等气体，导致真空度难以达标、抽真空耗时大幅增加；二是吸附污染，粗糙表面极易吸附空气中的水汽、粉尘和有机杂质，在真空工况下二次释放，污染腔体内部精密元器件与实验介质。

因此，真空腔体表面处理的核心目标可概括为三点：极致清洁、超低逸气、稳定钝化。针对不同真空等级，行业制定了严苛的表面标准：低真空腔体侧重除油防锈、去除宏观杂质；高真空与超高真空腔体则要求微观镜面平整、无孔隙、无残余杂质、表面形成稳定钝化膜，同时彻底消除加工残余应力，从根源杜绝气体释放与污染。目前行业主流处理工艺涵盖机械处理、电化学处理、化学钝化、高温处理、涂层改性五大类，各类工艺搭配使用，形成标准化、精细化的腔体表面处理体系。

大部分真空阀门与腔体主要原材料为不锈钢以及铝合金，进行表面处理一般有四大目的：

1、防止基材释气体影响真空度

2、防止密封不严密影响真空度

3、防止制程介质腐蚀内表面

4、防止制程介质吸附内表面造成阻塞

1、喷丸

喷丸即使用丸粒轰击工件表面并植入残余压应力，提升工件疲劳强度的冷加工工艺。

喷丸处理后，工件表面污物被清除掉，工件表面不被破坏，表面积有所增加。由于加工过程中，工件表面没有被破坏，加工时产生的多余能量就会引起工件基体的表面强化。利用高速旋转的叶轮把小钢丸或者小铁丸抛掷出去高速撞击零件表面，故可以除去零件表面的氧化层。

2、喷砂

喷砂是利用高速砂流的冲击作用清理和粗化基体表面的过程，即采用压缩空气为动力，以形成高速喷射束将喷料（铜矿砂、石英砂、金刚砂、铁砂、海南砂）高速喷射到需要处理的工件表面，使工件表面的外表面的外表或形状发生变化。

1、把腔室的密封面及刀口给包装好防止喷上沙子；

2、按用户要求给腔室喷砂（120钼砂子及80钼碗按比例中和2:1）

3、 喷完沙后用清水把腔室冲洗干净，用气枪吹干，然后用酒精擦一遍，自然风干半天。

3、机械抛光

机械抛光是靠切削、材料表面塑性变形去掉被抛光后的凸部而得到平滑面的抛光方法，一般使用石油条、羊毛轮、砂纸等，以手工操作为主，特殊零件如回转体面，可使用转台等辅助工具，表面质量要求高的可采用超精研抛的方法。超精研抛是采用特制的磨具，在含有磨料的研抛液中，紧压在工件被加工表面上，作高速旋转运动。利用该技术可以达到表面粗糙度Ra0.008μm，是各种抛光方法中最高的，光学镜片模具常采用这种方法。

4、化学抛光

化学抛光是让材料在化学介质中表面微观凸出的部分较凹部分优先溶解，从而得到平滑面。这种方法的主要优点是不需复杂设备，可以抛光形状复杂的工件,可以同时抛光很多工件，效率高。化学抛光的核心问题是抛光液的配置。化学抛光得到的表面粗糙度一般为数10μm。

5、电解抛光

电解抛光基本原理与化学抛光相同,即靠选择性的溶解材料表面微小凸出部分，使表面光滑。与化学抛光相比，可以消除阴极反应的影响，效果较好。电化学抛光过程分为两步：（1）宏观整平 溶解产物向电解液中扩散，材料表面几何粗糙下降，Ra>1μm。（2）微光平整 阳极极化，表面光亮度提高，Ra＜1μm 。

(1)极大提高表面耐蚀性。由于电解抛光对元素的选择性溶出,使得表面生成一层致密坚固的富铬固体透明膜,并形成等电式表面,从而消除和减轻微电池腐蚀。

(2)电解抛光后的微观表面比机械抛光的更平滑,反光率更高。

(3)电解抛光不受工件尺寸和形状的限制。对不宜进行机械抛光的工件可实施电解抛光，例如细长管内壁、弯头、螺栓、螺母和容器内外壁。

毫克能镜面加工设备：作为抛光的新工艺，在很多种类金属零部件加工方面具有独特的优势。可替代传统的磨床、滚压、镗滚、珩磨、抛光机、砂带机等其它金属表面光整加工设备及工艺；使金属工件高光洁度加工变得易如反掌。豪克能不仅仅可以抛光，还可以带来很多附加的好处：可使被加工工件表面光洁度提高3级以上（粗糙度Ra值轻松达到0.2以下）；且工件的表面显微硬度提高20％以上；并大大提高了工件的表面耐磨性和耐腐蚀性。豪克能可用于处理各种不锈钢及其它金属工件。

超声波抛光：将工件放入磨料悬浮液中并一起置于超声波场中，依靠超声波的振荡作用，使磨料在工件表面磨削抛光。超声波加工宏观力小，不会引起工件变形，但工装制作和安装较困难。超声波加工可以与化学或电化学方法结合。在溶液腐蚀、电解的基础上，再施加超声波振动搅拌溶液，使工件表面溶解产物脱离，表面附近的腐蚀或电解质均匀；超声波在液体中的空化作用还能够抑制腐蚀过程，利于表面光亮化。

流体抛光：流体抛光是依靠高速流动的液体及其携带的磨粒冲刷工件表面达到抛光的目的。常用方法有：磨料喷射加工、液体喷射加工、流体动力研磨等。流体动力研磨是由液压驱动，使携带磨粒的液体介质高速往复流过工件表面。介质主要采用在较低压力下流过性好的特殊化合物（聚合物状物质）并掺上磨料制成，磨料可采用碳化硅粉末。

磁研磨抛光：磁研磨抛光是利用磁性磨料在磁场作用下形成磨料刷，对工件磨削加工。这种方法加工效率高、质量好，加工条件容易控制，工作条件好。采用合适的磨料，表面粗糙度可以达到Ra0.1μm 。在塑料模具加工中所说的抛光与其他行业中所要求的表面抛光有很大的不同，严格来说，模具的抛光应该称为镜面加工。它不仅对抛光本身有很高的要求并且对表面平整度、光滑度以及几何精确度也有很高的标准。表面抛光一般只要求获得光亮的表面即可。镜面加工的标准分为四级：AO=Ra0.008μm，A1=Ra0.016μm，A3=Ra0.032μm，A4=Ra0.063μm，由于电解抛光、流体抛光等方法很难精确控制零件的几何精确度，而化学抛光、超声波抛光、磁研磨抛光等方法的表面质量又达不到要求，所以精密模具的镜面加工还是以机械抛光为主。