磁控溅射设备的主要用途：

1.功能性薄膜：具有吸收、透射、反射、折射、偏光等作用的薄膜；

2.装饰领域：各种全反射膜及半透明膜等；

3.微电子领域：在微电子领域作为一种非热式镀膜技术，主要应用在化学气相沉积（CVD）或金属有机物。

4.光学领域：增透膜、低辐射玻璃和透明导电玻璃等方面得到应用。特别是在透明导电玻璃广泛应用于平板显示器件、太阳能电池、微波与射频屏蔽装置与器件、传感器等。

5.机械加工领域：在机械加工行业中，表面功能膜、超硬膜，自润滑薄膜，能有效提高表面硬度、复合韧性、耐磨损性和抗高温化学稳定性能，从而大幅度地提高涂层产品的使用寿命。

磁控溅射除上述已被大量应用的领域，还在高温超导模、铁电体薄膜、巨磁阻薄膜、薄膜发光材料、太阳能电池、记忆合金薄膜研究方面发挥重要作用。