测量/计量仪器

• RIGAKU日本理学新一代形貌检测系统 XRTmicron
• 半导体芯片老化和逻辑测试系统
• 半导体晶片倒角测量仪
• 晶片晶格畸变应力扫描仪
• 平坦度测量仪

粉体焙烧炉

• 碳化硅（SiC）外延炉
• KOH腐蚀炉

半导体行业专用仪器

• 高精度全自动减薄机
• 氮化镓（GaN）MOCVD系统

磨具

• 半导体衬底和外延

其它辅助设备

• 半导体晶片倒角机

其他

• 混合激光显微镜