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氮化镓(GaN)MOCVD系统
报价:面议
品牌: 上海翱晶
产地: 上海
关注度: 79
型号: 氮化镓(GaN)MOCVD系统
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产品介绍

GaN 6寸/8寸外延炉


EPIREVO G8是日本株式会社东芝的子公司纽富莱(NuFlare)的主要产品之一。

EPIREVO G8通过在在200㎜Si衬底上高质量的高速成膜,

从而降低功率器件和RF器件成本的MOCVD装置,为实现低碳社会做出贡献。

高生产性

GaN膜能够达到9µm/hour以上的高速生长

能够达到200℃/minute以上的高速升温


高品质

200mm晶片面内2度以内的**温度分布


低成本

TMG可以达到20%以上的高利用率

In-Situ清洁功能带来的高生产效率


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上海翱晶半导体科技有限公司为您提供上海翱晶氮化镓(GaN)MOCVD系统,氮化镓(GaN)MOCVD系统产地为上海,属于半导体行业专用仪器,除了氮化镓(GaN)MOCVD系统的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供平坦度测量仪、碳化硅(SiC)外延炉、混合激光显微镜。
工商信息
企业名称

上海翱晶半导体科技有限公司

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信用代码

91310000MA1GM0HX1J

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