平坦度测量仪FT-900

测量晶片或磁盘等的翘曲、平坦度的设备

·可测量直径不超过200mm的样品。

·可对半导体晶片（硅、化合物、氧化物、玻璃）、硬盘驱动器上使用的磁盘（铝、玻璃）、

工业用金属片、任意形状的样品进行测量。

·无论样品为粗糙表面或光滑表面、透明物体或者样品上有开孔、形状不规则，都可以进行测量。

·通过相移法对激光斜入射干涉计产生的干涉条纹进行图像分析，以此实现对多种样品的数据测量。