常用的真空单位换算
真空度的度量单位有多种，不同国家和地区在使用过程中可能会有所差异，以下是一些常用真空单位及其换算关系：
（一）帕斯卡（Pa）
帕斯卡是国际单位制中表示压强的基本单位，1 帕斯卡等于 1 牛顿每平方米（1Pa=1N/m²）。
（二）托（Torr）
托是真空领域常用的单位，1托等于1毫米汞柱所产生的压强。1Torr≈133.322Pa。
（三）标准大气压（atm）
标准大气压是指在纬度45°的海平面上，温度为0℃时的大气压。1atm=101325Pa=760Torr。
（四）巴（bar）
巴在工程中也有一定的应用，1bar=100000Pa=750.062Torr≈0.986923atm。
（五）毫巴（mbar）
毫巴是巴的千分之一，1mbar=100Pa=0.750062Torr≈0.000986923atm。
为了更清晰地进行单位换算，可参考以下换算表，这些单位之间也可以通过 1 个标准大气压来互相转换。
流速与漏率
Pa·l/s | mbar·l/s | Torr·l/s | atm·cm3/s | sccm | |
1Pa·l/s | 1 | 10 | 7.5 | 9.87 | 59.2 |
1 mbar·l/s | 0.1 | 1 | 0.75 | 0.987 | 5.92 |
1 Torr·l/s | 0.133 | 1.33 | 1 | 1.32 | 78.9 |
1 atm·cm3/s | 0.101 | 1.01 | 0.76 | 1 | 60 |
1 sccm | 1.69×10-3 | 1.69×10-2 | 1.27×10-2 | 1.67×10-2 | 1 |
抽气速率单位换算表
单位 | 立方米/秒 | 升/秒(L/s) | 立方米/小时 | 立方英尺/分 |
1立方米/秒(1m3/s) | 1 | 1000 | 3600 | 2118.88 |
1升/秒(1L/s) | 10-3 | 1 | 3.6 | 2.119 |
1立方米/小时(1m3/h) | 2.78×10-4 | 0.278 | 1 | 0.59 |
1立方英尺/分(1cft/min) | 4.72×10-4 | 0.47 | 1.69 | 1 |
