上海研倍新材料 专业生产纳米粉末 氧化铈抛光液 CeO2 纳米材料

1、产品信息   

2、产品规格

1、样品测试包装客户指定（＜1kg/袋装）

2、样品产品包装（1kg/袋装）

3、常规产品包装（1kg/2kg/5kg/10kg）

备注：内：充惰性气体 外：铝箔袋真空。可根据客户要求指定包装。

3、产品概述

产品通过“选用净化原料+生产纯化工艺+品控智能控制”制备生成，产品具有技术含量高、晶相纯、磁性异物少、含水量低、化学性能稳定的特点。

4、产品用途

• 半导体制造:

• 硅片抛光:这是氧化铈抛光液*主要的应用领域。在集成电路制造过程中，需要对硅片进行平坦化处理，以保证后续工艺的顺利进行。氧化铈抛光液可以有效去除硅片表面的微观缺陷和粗糙度，获得原子级平整的表面。

• 金属层抛光:在多层金属互连结构中，氧化铈抛光液也可以用于抛光铜、铝等金属层，以保证金属层的平整度和线宽精度。

• 介质层抛光:氧化铈抛光液可以用于抛光各种介质层，例如二氧化硅、氮化硅等，以保证器件的性能和可靠性。

• 光学元件抛光:

• 玻璃抛光:氧化铈抛光液可以用于抛光各种光学玻璃，例如熔融石英、硼硅酸盐玻璃等，以提高光学元件的表面质量，减少光散射和提高光学透过率。

• 晶体抛光:氧化铈抛光液也可以用于抛光各种光学晶体，例如蓝宝石、YAG等，以提高其表面质量和光学性能。

• 精密制造:

• 精密陶瓷抛光:氧化铈抛光液可以用于抛光精密陶瓷部件，以提高其表面质量和尺寸精度。

• 金属部件抛光:除了半导体制造中的金属层抛光外，氧化铈抛光液也可以用于抛光其他金属部件，以提高其表面光洁度和耐腐蚀性。