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品牌: | 贝意克 |
产地: | 安徽合肥 |
关注度: | 70 |
型号: | BTF-1400C-OP-4ZL-CVD |
温控精度:±1℃
最高温度:1400℃
额定温度:≤1300℃
非金属电热元件:碳化硅
金属电热元件:其他
烧结气氛:其他
一、产品特色
这是一款定制可开启式CVD设备。该设备主要开启式加热炉、气路系统、反应管、智能控制系统。
1、开启式加热炉:
加热炉膛采用超轻氧化铝纤维材料,配S型热电偶,单点控温;设备升降温控制灵活、加热炉可开启方便客户更换维修反应管
2、气路系统可精确控制3路气体按不同流量进行混合配比,另外单独1路可通强腐蚀气体,配备吹扫气路。
气路管路及阀门,精工件都采用316L材质。
3、反应管组件
反应管组件使用耐高温刚玉管,内加刚玉管堵,两端密封法兰带水冷却系统,反应管尾部带反应物收集冷却装置。实验众产生的尾气经过冷却收集后再通过球阀排出。
4、气体报警系统
配备有氢气报警器,氯气报警器、甲烷报警器。分别设置1个检测点,报警后自动切断氢气、氯气和甲烷的供应,并发出警报。
5、 智能控制系统
采用智能PID模糊控制,30段可编程控制。具有超温和断偶报警功能。
二、技术参数
**温度 | 1400℃ |
持续工作温度 | ≤1300℃ |
升温速率 | ≤10℃/min |
控温精度 | ±1℃ |
加热元件 | 硅碳棒 |
热电偶 | S型 |
控温方式 | 模糊PID控制和自整定调节,人工智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能。 |
加热总功率 | ≤9KW |
加热区尺寸 | 300*130*160mm |
真空度 | ≤5pa |
设备尺寸 | 2100*600*1350mm |
设备重量 | 约350KG |
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安徽贝意克设备技术有限公司
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